(一)公司簡介

英特磊(IET)於2011年4月26日設立於開曼群島,公司營運主體設立於美國德州,採用MBE技術從事砷化鎵(GaAs)、銻化鎵(GaSb)、磷化銦(InP)化鎵等III-V族化合物半導體磊晶(Epi)的生產,具有基板到磊晶的垂直整合技術能力,提供無線通訊衛星通訊光纖通訊等商用,以及太空與國防上的紅外線感測夜視攝影等產品應用。

公司為全球磷化銦銻化鎵磊晶片代工領導廠商。

2014年9月29日,公司宣布以600萬美元取得法國Soitec旗下的砷化鎵事業部,包含5台NBE機台及相關備品、耗材、量測設備等。

2.營業項目與產品結構

解釋名詞 : 砷化鎵微波元件

砷化鎵微波元件主要有三種,分別為HBT( 異質接面雙極電晶體)、PHEMT(假晶高速電子移動電晶體)、及MESFET(金屬半導體場效電晶體)。其中,

HBT算是GaAs 領域中較新的技術,因物理特性具備高線性度、良好寬頻響應、高崩潰電壓、高增益、高效率、較低寄生效應、無需負偏壓設計、低相位雜訊等優點,致使其功能顯現具有功率放大倍率佳、待機耗電流較低、體積小等特色,HBT 已逐漸成為手機及無線區域網路(WLAN)用PA 之主流技術;

PHEMT 則因具有超高頻及低雜訊特性,因為InGaAs 的加入,其性能比MESFET 或AlGaAs/GaAs HEMT還優異。特別適用於RF Switch 的應用使得它在電腦與電腦間的無線區域網路(Wireless Local Area Network ,WLAN) 、用以固網長途無線傳輸的無線本地迴路(Wireless Local Loop,WLL) ,乃至於光纖通訊、衛星通訊、點對點微波通訊、衛星直播、有線電視、數位電視應用、Automobile radar、汽車防撞系統等應用,都有相當大的成長空間。早期手機的RF Switch採用Si 的diode 為主,但近年來由於3G 手機的品質要求提高,且晶片面積必需減小,因為PHEMT 正符合這方面的需求,因此PHEMT 正逐漸取代Si PIN diode 在手機RF Switch 的應用;

MESFET 因其結構簡單,是最早應用的砷化鎵電晶體,可以直接使用標準晶片製造,生產技術成熟、成本較低,而成為往年使用最廣泛者。

HBT、PHEMT 及MESFET 三者間最大的差異在於HBT為少數載子元件、以電流源控制、三極(基極(Base)、集極(Collector )、射極(Emitter ))呈垂直排列結構、元件電流以垂直方式傳導、無須負偏壓設計及下游僅需採用微米製程,而PHEMT 與MESFET 則為多數載子結構、以電壓源控制、三極(閘極(Gate)、源極(Source)、汲極(Drain))呈水平結構、元件電流以水平方式傳導與下游須採次微米製程。

三五族化合物半導體

分類 細項 應用
二元化合物半導體 砷化鎵、磷化銦 高速通訊元件、光電元件
三元化合物半導體 砷化鋁鎵、磷化銦鎵、磷砷化鎵 紅外線偵測器、太陽能電池材料
四元化合物半導體 磷砷化銦鎵 光纖通訊上光源及偵測器、發光二極體
 

產品介紹

砷化鎵(GaAs) pHEMT

因具有超高頻及低雜訊特性,使其在高功率基地台,低雜訊放大器(LNA)及射頻開關(RF Switch)上佔有重要地位。pHEMT 因為砷化銦鎵(InGaAs)的加入,特別適用於RF Switch 的應用使得它未來在電腦與電腦間的無線區域網路(Wireless Local Area Network, WLAN),於光纖通訊、衛星通訊、點對點微波通訊、衛星直播、有線電視、數位電視應用、及汽車防撞系統(Automobileradar)等應用,都有相當大的成長空間。

磷化銦(InP) HBT

能提供更低功率消耗、更佳電氣特性,因而使手機待機電壓更低、功率放大倍率更佳。更甚而之,磷化銦HBT能解決網路頻寬瓶頸,使運算產出最大化,因而加速下個世代通訊與運算架構的誕生。磷化銦HBT可應用於網路、通訊、運算、儲存、測試與量測、軍事與太空產品,它能提供40 gigabits/s (40G) 及100 gigabits/s (100G)高速類比半導體解決方案於通訊市場,及高速記憶體介面解決方案於運算市場。

紅外線光偵檢器(Infrared (IR) sensors)

在軍事用途,如目標搜尋、鎖定上,在民生用途如保全監控及夜視上,均有非常重要之功能。幾乎所有的紅外線光偵檢器或聚焦面陣列(focal plane arrays, FPA)均使用半導體材料,如II-VI族的汞鎘碲(HgCdTe, MCT)) ,IIIV族的量子井紅外線光偵檢器(quantum well infrared photodetectors, QWIP) ,和銻化鎵第二型應變層超晶格紅外線偵檢器(GaSb type II strained layer superlattice, T2SLS) 透過商業上半導體代工生產T2SLS有潛力在性能上優於MCT且在價格上遠低於MCT。

高速高頻的面射型雷射(VCSEL),光接收器(PIN),雪崩式光接收器(APD)

及各種不同波長半導體雷射磊晶片,主要應用在光纖通訊與資料傳輸領域。目前常用的光接收檢光二極體有PIN 二極體與APD(崩潰光電)二極體兩種。於低頻應用上業界有用有機金屬化學氣相沉積法(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)成長磊晶片,但在高頻應用上,磊晶層的厚度與摻雜濃度之精確度的高度要求下,分子束磊晶 (MBE)成長技術遂成為首選,以達到精準的厚度與摻雜濃度之控制。例如砷化鋁銦成長在磷化銦基板上的雪崩式光接收器(InAlAs/InP APD)磊晶片,要求P型摻雜控制在10e17 cm-3範圍,目前只有MBE技術能夠達到此水準。

公司近年光通訊訂單增加,主要成長動能來自於磷化銦,公司近年光通訊訂單增加,主要成長動能來自於磷化銦砷化鎵主要產品pHEMT銷售集中在非行動裝置與汽車防撞雷達應用,磷化銦銷售成長的力道來自雲端科技與高速光纖網路傳輸。

公司沿革

日期 集團及公司沿革之重要記事
1999年 1月 IET-US開始營業, 主要營業項目為高附加值假型高電子遷移電晶體(pHEMT), 異質接面雙極電晶體(HBT), 以及用於光纖通訊之磊晶片
2000年 8月 Vitesse Semi公司使用IET-US成長之4吋磷化銦磊晶片, 成功生產出第一顆商用積體電路
2001年 6月 IET-US建置新廠房於Richardson, Texas, USA
2002年 2月 IET-US榮獲2001/2002年間世界最大的III-V半導體公司, Vitesse Semi公司, 頒發2001年度最佳供應商獎(其後於2002, 2003, 2004年亦獲此殊榮)
2003年 9月 IET-US建置世界最大之多晶圓量產型分子束磊晶機台(MBE, 7片x6吋晶圓),達到月產能10,000片4吋磊晶片
2004年 7月 IET-US成功通過M/A-COM公司假型高電子遷移電晶體(pHEMT)產品認證,成為合格供應商
2006年 5月 IET-US成功通過A公司假型高電子遷移電晶體(pHEMT)產品認證,成為唯一的合格供應商
2007年 2月 IET-US獲得ISO 9001- 2000品質管理系統認證
2009年 1月 IET-US榮獲美國政府計劃以分子束磊晶(MBE)技術開發III-V半導體紅外線偵測磊晶結構
2009年 4月 IET-China成功做出銻化鎵/銻化銦磊晶等級基板提供母公司以MBE成長紅外線磊晶片
2009年12月 IET-US成功以分子束磊晶(MBE)技術成長III-V半導體紅外線偵測磊晶結構
2010年10月 成立IET-Japan以服務主要客戶
2010年10月 IET-US榮獲美國政府計劃以開發尖端銻化鎵紅外線偵測磊晶結構於大尺寸基板
2011年 1月 IET-US榮獲2010年世界最大的III-V半導體整合設計製造公司A公司,頒發2010年度最佳供應商獎(假型高電子遷移電晶體(pHEMT)準時供應,零缺點,優良客戶支援服務)
2011年 3月 IET-US MBE成長高速面射型雷射(VCSEL)通過14GHz可靠度測試
2011年 4月 成立本公司作為集團之控股公司
2011年 7月 IET-US承租在Allen, Texasㄧ個大面積無塵室做為二廠之用
2011年 9月 IET-China成功成長出第一支4吋銻化鎵晶棒
2012年 5月 與H公司簽訂長期供貨合約
2012年 6月 MBE成長高速面射型雷射(VCSEL)通過28GHz可靠度測試
2013年 7月 本公司於台灣第一上櫃
2013年 8月 成功自行開發銻化鎵基板拉晶、研磨、拋光技術
2013年12月 與法商Soitec簽署合作協議,包含技術授權及生產機台的轉讓
2014年 2月 IET-US承租在Richardson, Texas三廠作為新基板材料開發之用
2014年 7月 發行總額新台幣3億元國內第一次無擔保公司債
2014年 9月 IET-US簽署並完成與法國SOITEC公司砷化鎵MBE部門有關砷化鎵MBE事業及機台移轉合約
2014年 9月 IET-US購買位於美國德州Allen市用於增建廠房土地
2014年11月 IET-US簽署並完成與A公司砷化鎵MBE部門有關砷化鎵MBE事業及機台移轉合約
2015年 1月 IET-China成功成長出第一支4吋銻化銦晶棒
2015年 3月 IET-US於Arapho, Richardson三廠建廠完成。MBE-11開始生產磷化銦磊晶片
2015年 4月 IET-US榮獲多項美國政府計畫開發多片大尺寸銻化鎵紅外線偵測器磊晶技術
2015年 5月 IET-China 廠成功長出第一支5吋銻化銦晶棒
2015年 8月 IET-US與H公司成功開發出先進InP HBT技術並進行量產交貨
2015年12月 IET-China工廠開發出低摻雜濃度(<1E15 cm-3)的5吋InSb晶棒
2016年 2月 發行總額新台幣3億元國內第一次無擔保公司債全數轉換
2016年 3月 A公司第一次完成6吋InP HBT完整製程,使用的是IET-US 提供的磊晶片
2016年 7月 IET-US 成功開發出高均勻性(<3 nm) 6吋面射型雷射(VCSEL)
2016年 9月 IET-US Ridgemont, Allen新廠破土,開始興建 70,000 平方尺廠房
2016年 10月 E公司使用IET-US 量產之InP PIN推出56Gbps Data Center 高速元件
2017年 1月 IET-China開始第二生產線進行2,3,4吋銻化鎵基板拉晶、研磨、拋光
2017年 1月 US Allen二廠租約延長至Allen新廠完工
2017年 2月 IET-US 5吋銻化鎵基板開始量產,完成6吋銻化銦基板開發
2017年 4月 IET-US Ridgemont, Allen新廠道路(Ridgemont Drive)擴建開工
2017年 9月 IET-China廠成功長出第一支n+銻化鎵晶棒
2017年 12月 IET-US Ridgemont Allen新廠廠房完工,開始搬遷MBE及 拉晶機台
2018年 2月 B公司完成1.5-2µm InP生物辨識雷射製程,使用的是IET-US 提供的磊晶片
2018年 3月 日本一APD 團隊使用IET-US 磊晶片獲得該公司Device Innovation Center award
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